ラピダスは22年8月の設立以降、政府支援を受けながら急ピッチで工場を建設し、立ち上げてきた。米IBMから技術供与を受け、同社のニューヨーク州の研究所に技術者を派遣し習得を促進。24年12月には国内初となる蘭ASML製の極端紫外線(EUV)露光装置を搬入し、4月に試作ラインを稼働した。
キヤノン、半導体の次世代製造装置 米団体に初出荷
キヤノンは26日、半導体の次世代製造装置を初出荷すると発表した。先端半導体の開発を目指す米国の官民組織に納める。装置は「ナノインプリント」と呼ばれる独自技術を使ってウエハー上に回路パターンを描く。光を使う従来の手法に比べて消費電力やコストを抑えられるのが強みで、普及拡大を狙う。
韓国の半導体製造は何処の国の露光装置を使ってるの?^^