반도체 핵심원료인 "PGMEA"
켐트로닉스 "자체 생산" 쾌거
日규제 후 3년만에 성과 이뤄
순도 99.999%·친환경성 갖춰
EUV 공정 재료 독립 앞당길듯
수입대체효과 2000억원 기대
향후 1조원대까지 확대 예상
국내 기업이 그동안 일본에서 전량 수입해오던 반도체와 디스플레이 제조 공정의 핵심 원료를 국산화하는 데 성공했다. 2019년 일본이 반도체·디스플레이 핵심 소재 3종에 대해 한국 수출 규제를 강화한 지 3년이 채 지나지 않은 시점에서 거둔 성과다.
반도체와 디스플레이의 극자외선(EUV) 노광 공정에서 핵심 재료인 포토레지스트(PR)의 핵심 원료를 구성하는 "프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세트산(PGMEA)"을 초고순도(순도 99.999%)로 생산하는 데 성공
세계 최초로 5나인(Nine·99.999%)급 초고순도 PGMEA 기술을 확보한 것은 단순한 국산화의 의미를 넘어서 반도체 재료 기술 분야에서 초격차를 실현할 수 있는 기회가 될 수 있다"고 설명
https://www.mk.co.kr/news/business/view/2022/02/110854/
