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삼성, EUV 공정에 국산 “블랭크 마스크” 쓴다 - 전자신문
삼성전자가 극자외선(EUV) 공정에 국산 “블랭크 마스크”를 도입한다. 블랭크 마스크는 반도체 회로를 새길 때 필수적으로 사용되는 포토마스크의 원재료로, 삼성전자가 EUV 공정에 국산 마스크를 쓰는 건 처음이다. 그동안 해외 의존했던 블랭크 마스크의 국산화와 공급망 다변화가 임박했다.
12일 업계에 따르면 삼성전자는 2분기 적용을 목표로 국내 에스앤에스텍의 EUV 블랭크 마스크를 평가 중이다. 현재 최종 마무리 단계로 이르면 이달 중, 늦어도 다음달에 완료할 것으로 알려졌다. 사안에 밝은 업계 관계자는 “평가가 막바지에 이르렀다”면서 “2분기 도입을 예정하고 있다”고 말했다.
三星, EUV 公正に国産 “ブランクマスク” 使う - 電子新聞
三星電子が極子外線(EUV) 公正に国産 “ブランクマスク”を取り入れる. ブランクマスクは半導体回路を刻む時必須に使われるフォトマスクの原材料で, 三星電子が EUV 公正に国産マスクをかけることは初めてだ. その間海外寄り掛かったブランクマスクの国産化と供給網多変化が切迫した.
12日業界によれば三星電子は 2半期適用を目標で国内エスエンエステックの EUV ブランクマスクを評価の中だ. 現在最終仕上げ段階になれば今月中, 遅くても来月に完了することと知られた. 事案に明るい業界関係者は “評価が追いこみに至った”と “2半期導入を予定している”と言った.
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