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제작비·시간 1/100 미세 금속배선 기술…KAIST 양민양 교수팀

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제작비·시간 1/100 미세 금속배선 기술…KAIST 양민양 교수팀

뉴시스| 기사입력 2011-05-26 10:16

【대전=뉴시스】박병립 기자 = KAIST(총장 서남표)는 기계공학과 양민양 교수팀이 고품질·고전도성을 갖는 미세 금속배선을 기존 제작비 100분의 1 수준으로 저렴하게 제작하는 기술을 개발했다고 26일 밝혔다.

또 이 금속배선을 플렉시블 디스플레이용 필름에 적용하는 기술도 함께 개발했다.

플렉시블 디스플레이 미세 금속배선 제조는 노광이나 진공증착, 도금과 같은 고가의 복잡한 방법이 적용돼 왔다.

최근에는 잉크젯, 롤투롤(Roll to Roll)과 같은 인쇄방법이 시도되고 있으나 전극으로 요구되는 특성인 전기 전도성, 전극 품질, 정밀도와 생산성 또는 제조 원가를 충족시키는 데 한계가 있었다고 연구진은 전했다.

양 교소팀은 이러한 문제를 광촉매 자가 생성을 이용한 광열화학 반응과 새로운 패턴전사 방식으로 해결했다.

연구팀은 고가의 금속 나노입자 잉크를 대신해 금속원자가 녹아있는 유기물로부터 2~3㎚(나노미터)의 극미세 은 나노입자 광촉매를 자가 생성 시킨 후 레이저를 사용한 광화학반응을 유도함으로써 유연한 금속배선을 제조했다.

특히 레이저를 이용해 고체상태의 패턴을 고분자 필름에 전사하는 방법인 레이저유도 패턴접착전사법(Laser Induced Pattern Adhesive Transfer)을 개발해 폴리에스터(PET)와 같이 열에 약한 유연한 필름에도 적용할 수 있도록 했다.

이 방법으로 10㎛이하의 미세한 은 금속배선을 비저항 3.6μΩ·㎝의 높은 전도도로 PET, PI, PEN등 다양한 재질의 고분자 필름에 성공적으로 형성했으며 높은 신뢰성도 검증했다.

양 교수는 "유연한 금속배선 제조에 있어 기존의 은 나노입자 잉크를 사용하는 방법과 비교해 원가를 100의 1 수준으로 절감했고 제조 속도를 최대 100배 이상 향상시켰다"며 "플렉시블 디스플레이뿐 아니라 태양전지와 같은 차세대 유연 전자 소자 제조에 획기적인 변화를 가져올 것"이라고 말했다.

KAIST 양 교수와 강봉철 박사과정 학생이 주도한 이번 연구결과는 그 우수성을 인정받아 광학분야의 세과학저널인 네이처 포토닉스(Nature Photonics)지 2011년 4월호 뉴스 앤 뷰즈(News and Views)에 선정됐고 국내 및 국제 특허 출원을 완료했다.

bartongs@newsis.com

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製作コスト・時間 1/100 微細金属配線技術…KAIST 良民さん教授チーム

製作コスト・時間 1/100 微細金属配線技術…KAIST 良民さん教授チーム

ニューシース| 記事入力 2011-05-26 10:16
src=http://imgnews.naver.com/image/003/2011/05/26/NISI20110526_0004586994_web.jpg
【大田=ニューシース】朴竝立記者 = KAIST(総長西南表)は機械工学と良民さん教授チームがハイクオリティー・古典都城を持つ微細金属配線を既存製作コスト 100分の 1 水準でチープに製作する技術を開発したと 26日明らかにした.

またこの金属配線をフレキシブルディスプレー用フィルムに適用する技術も一緒に開発した.

フレキシブルディスプレー微細金属配線製造は露光や真空蒸着, メッキのような高価の複雑な方法が適用されて来た.

最近にはインクジェット, ロ−ルトロ−ル(Roll to Roll)のような印刷方法が試みされているが電極に要求される特性である電気伝導性, 電極品質, 精密度と生産性または製造原価を満たすのに限界があったと研究陣は伝えた.

両嬌笑チームはこのような問題を光触媒者が生成を利用した光熱化学反応と新しいパターン戦死方式で解決した.

研究チームは高価の金属ナノ粒子インクの代わりをして金属原子がとけている有機物から 2‾3nm(ナノメートル)の極微世銀ナノ粒子光触媒を者が生成させた後レーザーを使った光化学反応を誘導することで柔軟な金属配線を製造した.

特にレーザーを利用して固体状態のパターンを高分子フィルムに戦死する方法であるレーザー油もパターン接着戦死法(Laser Induced Pattern Adhesive Transfer)を開発してポリエステル(PET)と一緒に熱に弱い柔軟なフィルムにも適用するようにした.

が方法で 10um以下の微細な銀金属配線を比抵抗 3.6μΩ・

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