原子まで見る...スーパー電子燎微鏡稼動

원자까지 본다...슈퍼 전자현미경 가동

기사입력 2009-05-12 14:43
[앵커멘트]

물질을 구성하는 원자의 모습까지 볼 수 있는 세계 최고 수준의 슈퍼 전자현미경이 도입돼 본격 가동에 들어갔습니다.

국내 반도체, 나노 기술 연구에 획기적인 전기가 마련될 것으로 보입니다.

김지현 기자의 보도입니다.

[리포트]

국내에 처음으로 도입된 4세대 전자 현미경입니다.

겉으로는 다른 전자 현미경과 별 차이가 없어 보입니다.

하지만 반도체 실리콘의 시료를 넣은 뒤 분석 화면을 보면 큰 차이가 납니다.

기존 전자현미경으로 본 화면은 실리콘의 대체적인 윤곽과 층의 구분 밖에는 보지 못했습니다.

하지만 4세대 전자 현미경은 나노 크기 구성물의 층 변화와 벌집 모양으로 된 형태까지 볼 수 있습니다.

물질의 최소 단위인 원자의 모습까지 관찰할 수 있어 "슈퍼" 전자 현미경으로 불립니다.

거기에 흑백 화면만 가능하던 것과는 달리 색을 입힐 수 있어 보다 정확하게 특징을 찾아낼 수 있습니다.

[인터뷰:김미현, KIST 나노재료분석센터 연구원]
"에너지 분해능을 높여서 원자내의 전자 결합구조를 볼수 있고, 또 공간분해능을 높여서 원자단위의 소자분석이 가능해졌다는 것입니다."

그 기능에 더해 나노 소자의 특성을 실시간으로 관찰하는 일도 가능해졌습니다.

전자 현미경에서 이온빔을 쏠 수 있는 장치를 붙여 나노입자의 표면을 깎아낸 뒤 바로 분석할 수 있게 한 것입니다.

[인터뷰:안재평, KIST 특성분석지원단 박사]
"나노정도의 작은 영역을 인간이 접근하게 해주는 하나의 툴로 보면 됩니다. 그래서 그 작은 영역에서 인간이 필요로 하는 어떤 정보를 끌어낸다든지 안 그러면 어떤 미세 구조물을 만드는 그런 혁신적인 역할을 할수 있는 장비입니다."

KIST는 4세대 슈퍼 전자 현미경을 시작으로 앞으로 냉중성자 빔라인, 이온빔가속기 등 소자분석을 위한 대규모 시설을 갖춰 나갈 예정입니다.

세계 최고 수준의 분석장치들이 본격 가동됨으로써 반도체와 나노 기술 분야 연구에 큰 도움이 될 것으로 기대됩니다.

YTN 김지현입니다.

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