日本故区間押し出した. 大容量 ALD 装備三星初供給

 대량 공급... 올해 전사 매출 80% 이상 증가 전망

토종 반도체 증착장비 업체 유진테크가 일본 고쿠사이를 밀어내고 삼성전자 반도체사업부로부터 원자층증착(ALD) 장비를 대량 수주하는 잭팟을 터뜨렸다.

유진테크는 이 장비 공급을 위해 지난 수 년간 연구개발(R&D)에 매진했다. 삼성전자는 그간 일본 고쿠사이에 100% 의존하던 ALD 장비를 이원화함으로써 구매 협상력을 높이게 됐다.

6일 업계에 따르면 유진테크는 최근 삼성전자로부터 13대의 ALD 장비 발주를 받았다. 현재 삼성전자 평택 D램 신 공장에 순차로 공급 중이다. 회사 사정에 밝은 관계자는 "유진테크 협력사들 사이에선 전체 구두 계약 물량이 30대가 넘는다는 소식이 전해지고 있다"면서 "이 같은 물량에 맞춰 자재를 마련 중"이라고 설명했다.

업계에선 해당 장비를 배치(Batch, 일괄 처리) 혹은 퍼니스(Furnace) 타입 ALD 설비라고 부른다. 챔버에 한 장씩 웨이퍼를 넣어 가공하는 게 아니라 여러 개를 넣어 처리하는 방식이다. 균일 막질을 보장할 수 있을 정도로 정교하게 만든다면, 처리량을 크게 높일 수 있다. 삼성전자는 오직 고쿠사이로부터 이 장비를 조달해왔다. 현재 삼성전자 D램 생산라인에는 고쿠사이 장비 수 백대가 설치돼 있는 것으로 전해진다.

 유진테크는 이번 공급건으로 회사 위상이 한 단계 높아지게 됐다. 그간 주로 공급해왔던 일반 화학기상증착(CVD) 장비 대당 가격이 30~40억원이라면 ALD 퍼니스 장비 가격은 60~70억원에 달한다는 것이 업계 전문가들의 설명이다. 고쿠사이 장비는 대당 100장 미만의 웨이퍼를 넣어 처리할 수 있었지만, 유진테크가 이번에 공급하는 장비는 150장을 처리한다. 기술 우위를 증명한 셈이다.

유진테크는  올해 매출액 전망치는 3700억원 수준이다.