한국의 반도체 공장에서는 「초순수한 물은, 만들 수 있는지? wafer 세정용
지금까지, 그 초순수한 물을 만드는 기술이나 장치·재료의 일부는, 지금까지 일본, 미국 등 해외에 크게 의존해 오고 있어 최근 몇년에 「국산화를 진행시키고 있는 한중간」이라고 하는 상황입니다.
지금의 한국의 상황
한국에는 세계 유수한 반도체 메이커가 있어, 그러한 공장에는 대량의 초순수한 물이 필요합니다.
공장의 부지내에는 초순수한 물 제조 플랜트가 있어, 거기서 초순수한 물을 연속적으로 제조하고, wafer 세정 등에 사용하고 있습니다.
또, 한국 수자원 공사가 SK하이 닉스 전용으로 초순수한 물등의 공업용수를 안정공급하기 위한 시설 운영 계약을 맺는 등, 국내의 인프라라고 해도 초순수한 물 공급 체제를 정비하고 있습니다.
한편, 반도체 레벨의 초순수한 물을 안정되어 만들려면 , 고도의 막이나 이온교환 수지, 계측·제어 기술등이 필요합니다.
한국에서는, 이것들을 일본으로부터 오랜 세월 수입해 왔기 때문에, 소재나 장치 레벨에서는 일본 기업의 기술에 의존해 왔습니다.
일본의 수출 관리 강화등을 계기로, 한국 정부는 「반도체용초순수한 물의 국산화 프로젝트」를 진행하고 있어, 실증 플랜트 건설등의 대처를 실시하고 있습니다.
「만들 수 있을까?」의 의미를 나누면
「한국 반도체 제조는, 초순수한 물을 만들 수 있는 것인가」라고 하는 물음을, 조금 세세하게 나누면 다음과 같이 됩니다.
관점현상의 대답보충공장에서 초순수한 물을 제조할 수 있을까되어 있는파브내에 플랜트를 가져 운전중반도체 생산에 지장이 있다인가기본적으로 이루어초순수한 물 부족하고 멈추는 상황은 아니다기술이나 장치의 국산 비율이 높은가아직 도상일본 등 해외 기술에 의존해 온정부로서 국산화에 움직이고 있을까움직이고 있는실증 플랜트 정비나 연구 지원을 실시이와 같이, 「초순수한 물 그 자체는 만들고 있어 문제 없게 사용할 수 있고 있지만, 소재나 장치까지 포함한 완전한 국산 기술로서는 발전도상」이라고 하는 이해가 제일 현실에 가깝습니다.
