경제 산업성 소관의 독립 행정법인,신 에너지·산업기술 종합 개발 기구(N
EDO)는 16일, 희토류 원소(희토류)의 일종으로 액정 TV의 유리 기판의 연마
재에 사용된다세륨의 대체 기술과 사용량 저감 기술을 개발했다고 발표했다.레
아아스를 둘러싸 산출국의 중국이 수출을 규제하는 등, 안정 조달이 큰
과제가 되어 있어, 신기술의 조기의 실용화가 기대될 것 같다.
개발한 것은 NEDO의 「희소금속 대체 재료 개발 프로젝트」에 참가하는입명
관대학, 아드마텍스(아이치현미요시시),크리스탈광학(시가현 오츠시), 9
(여기의) 겹(네) 전기(카나가와현 이세하라시)의 연구 그룹. 대체 기술은, 연
마패드를 새롭게 개발하는 것으로 실현되었다.유리 연마는, 연마 패드의 다공질
폴리우레탄 수지와 지(와) 립()(제거 작용을 실시하는 경질인 입자)의 산화했다
세륨을 분산한 액체를 조합해 행해진다.
연구 그룹에서는, 연마 패드에 다공질 에폭시 수지를 사용했는데, 종래의
2 2배 초과의 연마 효율이 있는 것을 밝혀냈다.이 에폭시 수지와세륨대체
재료로서 가격이 반으로 입수하기 쉽다산화 지르코늄을 연마용 입자에 사용하면,세리우
무연마를 크게 웃도는 연마 효율을 확인할 수 있었다고 한다.
한편, 저감 기술은 연마용 입자를 복합 타입으로 하는 것으로 달성했다.유기물의 표면에
산화세륨을 부착시킨 구조를 채용한 결과, 연마 효율이 50％높아져,
의 분 사용량을 삭감할 수 있다고 하고 있다.