니콘의 강점은？

정밀 기계 컨퍼니의 강점

여기가 대단해！정밀 기계 컨퍼니

디지털 가전제품, 휴대 전화, PC···지금 일상생활에 빠뜨릴 수 없는 전자·정보 기기의 핵심을 이루는 부품이, IC(집적회로)와 LCD(액정 디스플레이)입니다.
정밀 기계 컨퍼니는, IC제조의 공정에 있어서의 반도체 노광 장치 분야와 LCD 제조 공정에 있어서의 액정 노광 장치 분야에서, 최첨단의 제품과 세계의 주요 거점을 망라하는 서비스 네트워크에 의해서, IT사회의 발전에 중요한 역할을 이루어 있습니다.

정밀 기계 컨퍼니의 사업과 제품

최첨단을 계속 리드하는 , 니콘의 반도체 노광 기술

IC의 진보의 역사는, 회로의 미세화에 의한 고집적화의 걸음입니다.이것을 가능하게 했던 것이, 반도체 노광 장치를 중심으로 한 미세 가공 기술의 진보입니다.
니콘은, 보다 넓은 노광 에리어와 비싼 해상도를 얻을 수 있는 스캔 방식이나, 렌즈와 웨이퍼의 사이에 공기보다 굴절률의 높은 순수한 물을 채우는 것으로 렌즈의 성능을 높이는 액침노광 기술을 개발.현재는, 회로 선폭 45 nm(나노미터.1 nm는 100만 분의 1 mm) 이하의 형성을 실현하고 있습니다.45 nm란, 예를 들어 머리카락 1개의 폭( 약 80 마이크로 미터 정도)에 약 1,800개의 선을 그린다고 하는 가늘음입니다.
게다가 1개의 회로 패턴을 2회로 나누어 노광해 밀집도를 높이는 더블 패터닝 기술에 의해서, 회로 선폭 32 nm이하에도 대응해 갈 것입니다.

반도체 노광 장치의 구조

반도체 노광 장치는, IC의 회로 패턴을 축소해 웨이퍼 표면에 노광하는 장치로, 고성능인 투영 렌즈, 메카니컬 동작 부분의 초정밀 구동, 장치 전체의 치밀한 제어 등, 지극히 고정밀의 기술이 요구되기 위해 「사상 가장 정밀한 기계」라고 불리고 있습니다.
니콘은, 1980년에 국산 최초의 반도체 노광 장치를 발표·출하한 이래, 항상 세계의 반도체 메이커의 요구에 응하는 제품을 개발·제공하고 있습니다.

대형화·고정밀화를 리드하는 액정 노광 장치

대형화나 고정밀화가 진행되는 LCD 제조 분야에서는, 액정 노광 장치 「FX-101 S」의 출하를 개시.니콘 독자적인 멀티 렌즈 투영 광학계를 탑재한 「FX-101 S」는, 제10세대로 불리는 약 3미터각의 대형 유리 플레이트에 1회의 주사 노광으로, 50 인치대 후반부터 60 인치대의 대형 액정 파넬을6~8매제조할 수 있는, 양산 대응기로서 주목받고 있습니다.

액정 노광 장치는, 유리 플레이트에 회로 패턴을 노광하는 장치입니다.1986년부터 판매를 개시한 니콘의 액정 노광 장치는, 풍부한 라인 업을 준비해, 대형화, 고정밀화하는 LCD 제조 요구에 전체적으로 대응하고 있습니다.

글로벌인 서비스 네트워크

정밀 기계 컨퍼니는, 일본, 북미, 유럽, 아시아 등, 각지역에 서비스 네트워크를 확립해, 유저와 긴밀한 파트너십을 쌓아 올리고 있습니다.

업계에서의 니콘의 포지션

니콘은 반도체 노광 장치에 있어서의 최첨단의 솔루션을 전체적으로 제공해, 주요한 반도체 메이커로부터 두꺼운 신뢰를 받고 있습니다.
또, 액정 노광 장치에 대해도 2009년의 세계 대수 시장규모로 톱 쉐어를 획득하고 있습니다.

반도체 노광 장치 세계 쉐어(2010년 3월기)

• ※반도체 노광 장치 세계 쉐어 출처(소)：니콘 추정

액정 노광 장치 세계 쉐어(2010년 3월기)

• ※액정 노광 장치 세계 쉐어 출처(소)：니콘 추정

반도체 노광 장치의 쉐어-에서는

니콘이

세계 제일이라고 하는 것은 아닌 것 같다＾＾