次世代半導体素子などにナノパターン連続印刷

차세대 반도체 소자 등에 나노패턴 연속 인쇄

| 기사입력 2009-06-16 07:33

원통형 인쇄장비 원천기술 개발

국내 연구진이 차세대 반도체 소자나 디스플레이용 필름 및 태양전지의 기판 등에 나노패턴을 큰 면적으로 연속 인쇄할 수 있는 원천기술을 확보했다.

한국전기연구원(원장 유태환)은 나노공정장비연구그룹 오현석 박사팀이 상진미크론, 스리에스엠케이(3SMK)와 공동으로 3년에 걸쳐 자기부상기술을 이용해 원통형 나노 스테이지와 이를 적용한 나노노광장치를 개발할 수 있는 원통형 대면적 나노패턴 인쇄장비의 원천기술을 개발하는데 성공했다고 15일 밝혔다.

이 기술은 국내 반도체 및 디스플레이 업계의 오랜 숙원이었던 나노미터급 정밀도를 지닌 대면적 인쇄전자기술의 가능성을 제시했다는 평가를 받고 있다. 그동안 나노패턴 인쇄를 위해서는 나노패턴이 새겨진 평판 금형을 이용해 소형기판 위에 마치 도장을 찍듯이 눌러 새길 수밖에 없었고 큰 면적으로 인쇄할 수 없는 한계가 있었다.

오 박사팀은 자기부상기술을 응용해 진공 속에서 원통모양의 금형 소재를 공중에 띄워 초정밀하게 회전 및 이송시키면서 빛으로 가공해 대면적 나노패턴을 원통 금형의 둘레에 이음매 없이 인쇄할 수 있는 나노노광장비를 제작하는데 성공했다.

이 나노노광장비를 이용하면 마치 롤러를 굴리듯이 나노패턴을 대면적으로 연속 인쇄할 수 있는 원통 금형을 제작할 수 있다.

이 기술은 또 LCD용 고휘도 광학필름과 차세대 디스플레이 제품용 광학소자, 전자기기 외장 고급화용 필름, 화폐 및 상품권 보안용 홀로그램 필름, 고효율 태양전지 및 연료전지 패널 등 각종 대면적 마이크로 및 나노패턴 가공제품 등에 적용할 수 있다.

오 박사팀은 핵심공정 및 장비와 관련된 원천기술 8건의 국내외 특허를 출원했으며 내년 제품 출시를 목표로 하고 있다.

오 박사는 "이 원천기술은 대면적 나노인쇄가 가능한 각종 공정 및 관련 장비기술에 적용할 수 있어 반도체, 디스플레이, 태양전지 관련 장비산업에 큰 변화를 가져올 것으로 기대된다"고 말했다.

한편 이 연구성과는 16일 열리는 전기연 밀양나노센터 개소식에서 소개될 예정이다.

이준기기자 bongchu@

◆사진설명 : 전기연 오현석 박사팀이 개발한 원통형 대면적 나노패턴 인쇄장비.

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