【한국】삼성의 DRAM 공장, 반도체 제조 프로세스에 불가결한 클린 룸의 기기가 모두 오염
삼성이 공장의 오염에 직면
DRAM 팁의 제조에 특화한 삼성의 파운드리 부문은, 수주일전에 발생한 미스에 의한 과제에 직면하고 있습니다. 이러한 실수는, 200 mm웨이퍼로의 DRAM 팁의 제조에 필요한 모든 기기가 감염한 클린 룸의 오염이라고 하는 형태이며, 삼성은 새로운 웨이퍼를 폐기할 필요가 있다 모아 두어 수백만 달러의 손실을 입고 있습니다.
클린 룸은 반도체 제조 프로세스에 불가결합니다.왜냐하면, 클린 룸은 모든 오염물질을 실리콘으로부터 멀리해 실리콘을 청결하고 사용 가능한 상태에 유지하기 때문입니다. Samsung는, 1x nm클래스의 DRAM 팁용의 200 mm웨이퍼로 동작하는 DRAM 제조 시설의 클린 룸을 확보 되어 있지 않습니다. 웨이퍼 처리에 사용되는 툴은 오염되고 있기 때문에, 상호작용을 위해서 웨이퍼 자체가 오염되고 있습니다. 삼성은 「수십억 한국원」을 잃어, 수백만 달러를 가져온 것을 인정했다. 이것이 DRAM 시장에 큰 영향을 주지 않는다고 하는 안심할 수 있는 것은, 생산이 계획대로 진행되고 있어 문제가 정리되고 있는 것입니다.따라서, DRAM의 가격에 큰 영향이 없는 것을 기대할 수 있습니다.
기기의 문제의 영향을 받은 삼성의 메모리 생산, 수백만 달러의 손해를 예측
수주일전, 삼성은 DRAM 공장의 하나로 제조상의 문제를 경험했습니다.동사는, 수백만 달러에 상당하는 불특정의 손해를 입었다고 동사는 말하고 있습니다. 원인은 기기의 오염이었습니다.
이 문제는 수주일전에 발생했습니다만, 삼성은 현재 문제를 해결하고 있어, 생산은 계획대로에 돌아오고 있다고 합니다. 동사는 어느 파브가 영향을 받는지를 특정하지 않았지만, ComputerBase에 의하면, 1x nm클래스의 DRAM를 생산한 것은 직경 300 mm의 최신의 웨이퍼와는 대조적으로 200 mm의 웨이퍼 공장이었습니다.
오염된 기기는 공장 전체에 영향을 주었습니다. 삼성에 의하면, 기기에 노출된 웨퍼의 배치는 폐기할 필요가 있어, 수백만 달러의 손해를 가져왔습니다만, 내부 관계자는, 삼성이 아직 영향을 완전하게 추정하고 있지 않기 때문에, 한층 더 높아질 가능성이 있다라고 추정했습니다.
금년의 처음, TSMC는 적어도 10,000매의 웨이퍼를 손상해, TSMC에 5억 5,000만 달러의 비용이 드는 오염도 경험했습니다 .
