KAIST.삼성전자, 저비용 LCD 공정기술 개발
| 기사입력 2010-08-23 09:54 | 최종수정 2010-08-23 10:52
KAIST.삼성전자, 저비용 LCD 공정기술 개발 (대전=연합뉴스) 정윤덕 기자 = 한국과학기술원(KAIST) 신소재공학과 김상욱 교수팀은 삼성전자 LCD사업부와 함께 저비용 대면적 나노패턴기술을 개발하는 데 성공했다. 사진은 배열이 불규칙한 자연상태의 블록 공중합체를 원하는 형태로 정렬시키는 한편 밀도를 증폭시키는 과정. 2010.8.23. ≪지방기사 참고.KAIST≫ cobra@yna.co.kr (대전=연합뉴스) 정윤덕 기자 = 한국과학기술원(KAIST) 신소재공학과 김상욱 교수팀은 삼성전자 LCD사업부와 함께 저비용 대면적 나노패턴기술을 개발하는 데 성공했다고 23일 밝혔다.
김 교수팀은 기존 기술에 비해 더 단순하고 공정비용이 저렴한 이 기술이 차세대 반도체나 디스플레이 분야에 폭넓게 이용될 수 있을 것으로 기대하고 있다.
자연적으로 형성되는 블록(Block) 공중합체(共重合體.Copolymer) 나노패턴은 그 배열이 불규칙하고 결함이 많아 반도체나 디스플레이에 이용하기 위해서는 임의의 대면적에서 나노패턴을 원하는 형태로 잘 정렬시키는 기술이 필수적이다.
그러나 현재까지 개발된 기술들은 방사광 가속기와 같은 매우 비싼 장비가 필요하고 임의의 넓은 면적에 적용할 수 없다는 근본적 한계를 갖고 있었다.
김 교수팀은 저비용 패턴공정인 디스플레이용 광리소그래피(Optical Lithography)로 대면적에서 마이크로미터(1㎛는 100만분의 1ｍ) 크기의 패턴을 만든 뒤 분자 자기조립(Molecular Self-assembly) 현상을 이용해 수십나노미터(1㎚는 10억분의 1ｍ) 크기의 패턴으로 밀도를 100배 이상 증폭시켜 대면적에서 잘 정렬된 나노패턴을 형성하는 데 성공했다.
김 교수는 "이번 연구결과는 분자조립 나노패턴기술을 저비용, 대면적화함으로써 실제 나노소자 공정에 이용할 수 있는 가능성을 크게 높였다는 데 의미가 있다"고 말했다.
이 같은 성과는 미국 화학회가 발행하는 "ACS 나노"지 19일자 온라인판에 소개됐다.
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