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자기부상기술로 차세대 반도체 핵심장비 개발

| 기사입력 2009-06-16 06:01 광고 국내 연구진이 차세대 반도체 및 디스플레이·태양전지 등의 양산에 필요한 핵심기술을 개발했다.

한국전기연구원 오현석 박사팀은 자기부상기술을 응용해 원통형 나노스테이지와 이를 적용한 나노노광장치를 개발했다고 15일 밝혔다.

차세대 반도체, 디스플레이용 고휘도 광학필름 소자, 차세대 태양전지 소자 등의 양산을 위해서는 기판 위에 나노미터(㎚=10억분의 1m) 크기의 미세 무늬(나노패턴)를 대면적으로, 연속 인쇄할 수 있는 기술이 필요하지만 아직 선진국에서도 만족할만한 기술은 개발되지 않은 상태다.

현재는 나노패턴이 새겨진 평판금형을 이용해 소형기판 위에 마치 도장을 찍듯이 눌러서 새길 수 밖에 없는데 이는 상당한 시간이 소요됨은 물론 큰 면적으로 인쇄하기 어렵다는 한계가 있다.

연구진은 이 연구에서 기존에 보유하던 자기부상기술을 응용, 진공 속에서 원통 모양의 금형소재를 공중에 띄워 아주 정밀하게 회전시키고 이송할 수 있는 기술을 개발했다. 또 이 원통소재를 빛으로 가공해 대면적 나노패턴을 원통금형의 둘레에 이음매 없이 자유자재로 인쇄할 수 있는 나노노광장치도 제작해 현재 시험 중에 있다. 이 나노노광장치를 이용하면 마치 롤러로 굴리듯이 차세대 반도체 소자나 디스플레이용 필름, 태양전지의 기판 등에 나노패턴을 대면적으로 연속 인쇄할 수 있는 원통금형을 만들 수 있다.

오현석 박사는 “국내 반도체 및 디스플레이업계의 오랜 숙원인 나노미터급의 정밀도를 가진 대면적 인쇄전자기술의 가능성을 제시한 것”이라면서 “우리나라가 차세대 반도체·디스플레이 분야에서 세계 시장을 주도하는데 크게 기여할 것으로 전망된다”고 말했다.

오는 2010년 제품 출시를 목표로 하고 있는 이 기술은 한국전기연구원을 중심으로 ㈜상진미크론, ㈜스리에스엠케이(3SMK)가 3년에 걸쳐 100억여 원의 연구비를 투자해 공동 개발했으며 국내외에 8건의 특허를 출원한 상태다.

한편 이 기술이 적용 가능한 디스플레이용 고휘도 광학필름 세계 시장규모는 2009년 91억 달러로 예상되며 인쇄전자 분야에선 오는 2015년에 250억 달러의 새로운 시장이 형성될 것으로 기대되고 있다.

/economist@fnnews.com이재원기자

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