ニコンの強みは？
精機カンパニーの強み
ここがすごい！精機カンパニー
デジタル家電製品、携帯電話、パソコン・・・いまや日常生活に欠かすことのできない電子・情報機器の中核をなす部品が、IC（集積回路）とLCD（液晶ディスプレイ）です。
精機カンパニーは、IC製造の工程における半導体露光装置分野と、LCD製造工程における液晶露光装置分野で、最先端の製品と世界の主要拠点を網羅するサービスネットワークによって、IT社会の発展に重要な役割を果たしています。
精機カンパニーの事業と製品
最先端をリードし続ける、ニコンの半導体露光技術
ICの進歩の歴史は、回路の微細化による高集積化の歩みです。これを可能にしたのが、半導体露光装置を中心とした微細加工技術の進歩です。
ニコンは、より広い露光エリアと高い解像度が得られるスキャン方式や、レンズとウェハの間に空気よりも屈折率の高い純水を満たすことでレンズの性能を高める液浸露光技術を開発。現在では、回路線幅45nm（ナノメートル。1nmは100万分の1mm）以下の形成を実現しています。45nmとは、たとえば髪の毛1本の幅（約80マイクロメートル程度）に約1,800本の線を描くという細さです。
さらに、1つの回路パターンを2回に分けて露光して密集度を高めるダブルパターニング技術によって、回路線幅32nm以下にも対応していきます。
半導体露光装置の仕組み
半導体露光装置は、ICの回路パターンを縮小してウェハ表面に露光する装置で、高性能な投影レンズ、メカニカル動作部分の超精密駆動、装置全体の緻密な制御など、極めて高精度な技術が要求されるため「史上最も精密な機械」と呼ばれています。
ニコンは、1980年に国産初の半導体露光装置を発表・出荷して以来、常に世界の半導体メーカーのニーズに応える製品を開発・提供しています。
大型化・高精細化をリードする液晶露光装置
大型化や高精細化が進むLCD製造分野では、液晶露光装置「FX-101S」の出荷を開始。ニコン独自のマルチレンズ投影光学系を搭載した「FX-101S」は、第10世代と呼ばれる約3メートル角の大型ガラスプレートに一回の走査露光で、50インチ台後半から60インチ台の大型液晶パネルを6～8枚製造できる、量産対応機として注目されています。
【液晶露光装置とは】液晶露光装置は、ガラスプレートに回路パターンを露光する装置です。1986年から販売を開始したニコンの液晶露光装置は、豊富なラインアップを用意し、大型化、高精細化するLCD製造ニーズにトータルに対応しています。
グローバルなサービスネットワーク
精機カンパニーは、日本、北米、欧州、アジアなど、各地域にサービスネットワークを確立し、ユーザーと緊密なパートナーシップを築いています。
ページトップへ戻る業界でのニコンのポジション
ニコンは半導体露光装置における最先端のソリューションをトータルに提供し、主要な半導体メーカーから厚い信頼をいただいています。
また、液晶露光装置においても2009年の世界台数市場規模でトップシェアを獲得しています。
半導体露光装置世界シェア(2010年3月期)
- ※半導体露光装置世界シェア 出所：ニコン推定
液晶露光装置世界シェア(2010年3月期)
- ※液晶露光装置世界シェア 出所：ニコン推定
半導体露光装置のシェアーでは
ニコンが
世界一というわけではないようだ＾＾